European Tender Electron Beam Lithography system

Universiteit Twente

The University of Twente is tendering to purchase an Electron Beam Lithography system. The MESA+ Institute of the University of Twente will invest in a new Electron Beam system (e-beam system). A system, suitable for defining patterns in electron sensitive resists, at high resolution and high speed, compatible with a wide range of applications and substrate types up to 200mm in diameter. The system will be used by a wide range of users, i.e. academic researchers and students as well as industrial engineers with different backgrounds (photonics, (nano)-electronics etc.) and different levels of expertise.

Deadline

Deadline 2026-08-14

Wie?

• Universiteit Twente

Wat?

• Apparatuur voor het meten van straling › Elektronenstraalrecorders

Waar?

• Overijssel › Twente

Aankoopgeschiedenis

Datum	Document
2026-06-12	Aankondiging van een opdracht
2026-07-08	Aankondiging van een opdracht

Aankondiging van een opdracht (2026-06-12)
Object
Toepassingsgebied van de aanbesteding
Titel: European Tender Electron Beam Lithography system
Referentienummer: 379fcf7e-45c5-4d48-b8ea-3be831450e85
Korte beschrijving:

Soort contract: Leveringen
Producten/diensten: Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) 📦
Geschatte waarde exclusief BTW: 3 500 000 EUR 💰
Andere beperkingen op de plaats van uitvoering: Overal in het desbetreffende land
Beschrijving
Interne identificatiecode: 0b4a476d-7047-4e2b-907c-d85c9f9859e4
Aanvullende producten/diensten: Elektronenstraalrecorders 📦
Hoofdlocatie of plaats van uitvoering: Zie documentatie
Land: Nederland 🇳🇱
Titel
Identificatienummer van de partij: LOT-0000

Procedure
Soort procedure
Openbare procedure ✅
Rechtsgrondslag: Richtlijn 2014/24/EU
Administratieve informatie
Termijn voor de ontvangst van inschrijvingen of verzoeken tot deelneming: 2026-08-14 10:00:00 📅
Talen waarin inschrijvingen of aanvragen tot deelneming kunnen worden ingediend: Engels 🗣️
Minimumtermijn gedurende welke de inschrijver de offerte gestand moet doen: 90 dagen
Voorwaarden voor inschrijving
Elektronische facturering: Toegestaan
Er zal gebruik worden gemaakt van elektronische betaling ✅

Aanbestedende dienst
Naam en adressen
Naam: Universiteit Twente
Nationaal registratienummer: 50130536
Postadres: Drienerlolaan 5
Postcode: 7522NB
Poststad: Enschede
Regio: Twente 🏙️
Land: Nederland 🇳🇱
Contactpunt: Camilio Delfgaauw
E-mail: c.delfgaauw@utwente.nl 📧
Telefoon: +31534891512 📞
URL: https://www.utwente.nl 🌏
Adres van het kopersprofiel: https://s2c.mercell.com/buyer/16033 🌏
Type aanbestedende dienst
Publiekrechtelijke instelling
Hoofdactiviteit
Onderwijs
Communicatie
Documenten URL: https://s2c.mercell.com/today/217278 🌏
Deelname URL: https://s2c.mercell.com/today/217278 🌏
Elektronische indiening: Toegestaan

Aanvullende informatie
Beoordelingsorgaan
Naam: Rechtbank Overijssel
Nationaal registratienummer: 82940525
Postcode: 7607 GB
Poststad: Almelo
Regio: Twente 🏙️
Land: Nederland 🇳🇱
E-mail: communicatie.rb-ove@rechtspraak.nl 📧
Telefoon: (+31)0883611042 📞
Dienst waar informatie over de beroepsprocedure kan worden verkregen
Zelfde als: Naam en adressen
Herzieningsprocedure
Precieze informatie over de termijn(en) voor herzieningsprocedures: See descriptive document.
Informatie over elektronische workflows
Elektronische facturering wordt aanvaard
Bron: OJS 2026/S 113-409508 (2026-06-12)

Aankondiging van een opdracht (2026-07-08)
Object
Toepassingsgebied van de aanbesteding
Geschatte waarde exclusief BTW: 3 500 000 EUR 💰

Procedure
Administratieve informatie
Termijn voor de ontvangst van inschrijvingen of verzoeken tot deelneming: 2026-08-21 10:00:00 📅

Wijzigingen
In de oorspronkelijke aankondiging te corrigeren tekst
Identificatienummer van de partij: LOT-0000
De aanbestedingsstukken zijn gewijzigd op ✅
Datum van wijziging van de aanbestedingsstukken: 2026-07-08 📅
Andere aanvullende informatie

Recently, the University of Twente has started a tender-procedure for the purchase of an electron beam lithography system (T217278 European Tender Electron Beam Lithography system). Unfortunately, we have realized that the Descriptive Document contained several (minor) short-comings. More specific, in the revised Descriptive Document a time-slot for site-inspection is included, as well as a correct textual description of the weighting of the three award criteria is inserted at the end of section 4.2 (viz. 70% (wishes; G1), 10% (sustainability; G2) and 20% (price; G3)). In appendix B Schedule of Requirements and Wishes – the subsection regarding ‘(extended) warranty’ has been removed (table P) and added to the maintenance subsection (see item O.2 in table O).

Voornaamste reden voor de wijziging: Correctie koper
Informatie over wijzigingen
Versie van de eerdere aankondiging die moet worden gewijzigd: d8072cd8-e497-49af-b432-8865f10c18de-01
Bron: OJS 2026/S 130-474919 (2026-07-08)

Nieuwe aankopen in verwante categorieën 🆕

Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) (18 nieuwe aankopen)