Metrology SEM+FIB system

Nederlandse organisatie voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO

The main purpose of this FIB/SEM equipment is to perform material milling (cutting), 3D characterization, and cross section analysis of epitaxially grown InP, InGaAs, InAlGaAs and InGaAsP layers on InP substrates. The structures may also contain polymer-based planarization layers, SiOx or SiNx dielectric layers and TiPtAu or NiGeAu metal layers. Levering van รฉรฉn SEM +FIB systeem

Deadline

Deadline 2026-09-07

Wie? Wat? Waar?
Aankoopgeschiedenis
Datum Document
2026-07-27 Aankondiging van een opdracht
Aankondiging van een opdracht (2026-07-27)
Object
Toepassingsgebied van de aanbesteding
Titel: Metrology SEM+FIB system
Referentienummer: WS2640013718
Korte beschrijving:
The main purpose of this FIB/SEM equipment is to perform material milling (cutting), 3D characterization, and cross section analysis of epitaxially grown InP, InGaAs, InAlGaAs and InGaAsP layers on InP substrates. The structures may also contain polymer-based planarization layers, SiOx or SiNx dielectric layers and TiPtAu or NiGeAu metal layers. Levering van รฉรฉn SEM +FIB systeem
Toon meer
Soort contract: Leveringen
Producten/diensten: Micro-elektronische machines en toestellen en microsystemen ๐Ÿ“ฆ
Geschatte waarde exclusief BTW: 1300000.0 EUR ๐Ÿ’ฐ
Andere beperkingen op de plaats van uitvoering: Overal in het desbetreffende land
Beschrijving
Interne identificatiecode: 1
Titel: Metal Lift-Off System (TNO44)
Beschrijving van de aanbesteding: Levering van een metal lift-off system Levering van รฉรฉn metal lift-off system
Aanvullende producten/diensten: Diverse apparatuur voor beoordeling en testen ๐Ÿ“ฆ
Hoofdlocatie of plaats van uitvoering: Eindhoven, High Tech Campus
Land: Nederland ๐Ÿ‡ณ๐Ÿ‡ฑ
Duur: 48 maanden
Maximumaantal verlengingen: 2
Overige informatie over verlengingen: Onderhoud en service op SEM+FIB system
Informatie over opties
Opties โœ…
Beschrijving van de opties:
- Onderhoudscontract(en) na afloop van de 24 maanden garantie; - Optioneel 2e SEM+FIB system; - Consumables/spare parts.
Gunningscriteria
Prijs โœ…
Prijs (weging): 100
Titel
Identificatienummer van de partij: LOT-0000

Procedure
Soort procedure
Openbare procedure โœ…
Rechtsgrondslag: Richtlijn 2014/24/EU
Administratieve informatie
Termijn voor de ontvangst van inschrijvingen of verzoeken tot deelneming: 2026-09-07 12:00:00 ๐Ÿ“…
Voorwaarden voor de opening van de offertes: 2026-09-07 12:30:00 ๐Ÿ“…
Talen waarin inschrijvingen of aanvragen tot deelneming kunnen worden ingediend: Nederlands ๐Ÿ—ฃ๏ธ
Minimumtermijn gedurende welke de inschrijver de offerte gestand moet doen: 120 dagen
Voorwaarden voor inschrijving
Een geavanceerd(e) of gekwalificeerd(e) elektronisch(e) handtekening of zegel (zoals omschreven in Verordening (EU) nr. 910/2014) is vereist
Openingsdatum: 2026-09-07 12:30:00 ๐Ÿ“…
Elektronische facturering: Vereist
Termijn voor verzoeken om aanvullende informatie: 2026-08-17 12:30:00 ๐Ÿ“…
Gunningscriteria
Wegingstype: Gewicht (punten, exact)

Aanbestedende dienst
Naam en adressen
Naam: Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Nationaal registratienummer: 252056395
Postadres: Anna van Buerenplein 1
Postcode: 2595 DA
Poststad: Den Haag
Regio: Agglomeratie โ€™s-Gravenhage ๐Ÿ™๏ธ
Land: Nederland ๐Ÿ‡ณ๐Ÿ‡ฑ
Contactpunt: Rob Ruiter
E-mail: arjan.verhoeven@tno.nl ๐Ÿ“ง
Telefoon: +31 888665653 ๐Ÿ“ž
URL: http://www.tno.nl ๐ŸŒ
Type aanbestedende dienst
Publiekrechtelijke instelling
Hoofdactiviteit
Algemene overheidsdiensten
Communicatie
Documenten URL: https://www.tenderned.nl/aankondigingen/overzicht/434821 ๐ŸŒ
Deelname URL: https://www.tenderned.nl/aankondigingen/overzicht/434821 ๐ŸŒ
Elektronische indiening: Vereist

Aanvullende informatie
Dienst waar informatie over de beroepsprocedure kan worden verkregen
Zelfde als: Naam en adressen
Informatie over elektronische workflows
Elektronische facturering wordt aanvaard
Bron: OJS 2026/S 143-519634 (2026-07-27)