The University of Twente is tendering to purchase two new Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition systems. The MESA+ Institute will invest in two new systems for deposition of (doped) dielectric thin films to upgrade and reinforce their state-of-the-art thin film technology and processing capacity. The systems will be used for moderate-temperature deposition of low stress thin films. For the following materials: silicon dioxide (SiO2) boron-doped SiO2 (BSG) phosphorus-doped SiO2 (PSG) boron-phosphorus-doped SiO2 (BPSG) low-stress silicon nitride (SiNx) silicon oxynitride (SiOxNy) amorphous silicon (aSi)
Deadline
De termijn voor de ontvangst van de offertes was 2025-05-26.
De aanbesteding werd gepubliceerd op 2025-04-14.
Aankondiging van een opdracht (2025-04-14) Object Toepassingsgebied van de aanbesteding
Titel: European Tender Two Parallel Plate Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Systems
Referentienummer: EB-OUT 6685
Korte beschrijving:
“The University of Twente is tendering to purchase two new Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition systems. The MESA+ Institute will invest in two new...”
Korte beschrijving
The University of Twente is tendering to purchase two new Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition systems. The MESA+ Institute will invest in two new systems for deposition of (doped) dielectric thin films to upgrade and reinforce their state-of-the-art thin film technology and processing capacity. The systems will be used for moderate-temperature deposition of low stress thin films. For the following materials: silicon dioxide (SiO2) boron-doped SiO2 (BSG) phosphorus-doped SiO2 (PSG) boron-phosphorus-doped SiO2 (BPSG) low-stress silicon nitride (SiNx) silicon oxynitride (SiOxNy) amorphous silicon (aSi)
Toon meer
Soort contract: Leveringen
Producten/diensten: Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen)📦
Geschatte waarde exclusief BTW: 800 000 EUR 💰
Beschrijving
Beschrijving van de aanbesteding:
“The University of Twente is tendering to purchase two new Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition systems. The MESA+ Institute will invest in two new...”
Beschrijving van de aanbesteding
The University of Twente is tendering to purchase two new Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition systems. The MESA+ Institute will invest in two new systems for deposition of (doped) dielectric thin films to upgrade and reinforce their state-of-the-art thin film technology and processing capacity. The systems will be used for moderate-temperature deposition of low stress thin films. For the following materials: silicon dioxide (SiO2) boron-doped SiO2 (BSG) phosphorus-doped SiO2 (PSG) boron-phosphorus-doped SiO2 (BPSG) low-stress silicon nitride (SiNx) silicon oxynitride (SiOxNy) amorphous silicon (aSi)
Toon meer
Hoofdlocatie of plaats van uitvoering:
“Zie documentatie” Duur
Startdatum: 2025-08-18 📅
Einddatum: 2026-07-01 📅
Titel
Identificatienummer van de partij: LOT-0000
Procedure Soort procedure
Open procedure ✅ Administratieve informatie
Termijn voor de ontvangst van inschrijvingen of verzoeken tot deelneming: 2025-05-26 10:00:00 📅
Voorwaarden voor de opening van de offertes: 2025-05-26 10:30:00 📅
Talen waarin inschrijvingen of aanvragen tot deelneming kunnen worden ingediend: Engels 🗣️
Minimumtermijn gedurende welke de inschrijver de offerte gestand moet doen: 7
Aanvullende informatie Beoordelingsorgaan
Naam: Rechtbank Overijssel
Nationaal registratienummer: 82940525
Postcode: 7607 GB
Poststad: Almelo
Regio: Twente🏙️
Land: Nederland 🇳🇱
E-mail: communicatie.rb-ove@rechtspraak.nl📧
Telefoon: (+31)0883611042📞 Dienst waar informatie over de beroepsprocedure kan worden verkregen
Naam: Universiteit Twente
Nationaal registratienummer: 50130536
Postadres: Drienerlolaan 5
Postcode: 7522NB
Poststad: Enschede
Regio: Twente🏙️
Land: Nederland 🇳🇱
E-mail: c.delfgaauw@utwente.nl📧
Telefoon: +31534891512📞
URL: https://www.utwente.nl🌏 Herzieningsprocedure
Precieze informatie over de termijn(en) voor herzieningsprocedures:
“See descriptive document” Informatie over elektronische workflows
Elektronische facturering wordt aanvaard
Er zal gebruik worden gemaakt van elektronische betaling
Bron: OJS 2025/S 075-248600 (2025-04-14)