XUV Piezo Cluster

Universiteit Twente

The XUV Optics Group in MESA+ Institute at University of Twente tends to invest in the XUV Piezo Cluster to carry research on piezoelectric film-based sensors and actuators. The aim is to scale up the piezoelectric film coating capabilities to larger substrate dimensions with more advanced process control systems that enable to explore a broader process window. The XUV Piezo Cluster will be used for the deposition of pure metals, metallic oxides and piezoelectric layers onto various substrates to be further processed using photolithography and deposition steps in the MESA+ Nanolab facilities. Brief description of the capabilities is outlined below: The XUV Piezo Cluster shall be capable of processing at least 200 mm diameter substrates. The XUV Piezo Cluster shall include a chamber for deposition of piezoelectric Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) layer that acts as the active layer for sensor and actuator applications. The XUV Piezo Cluster shall include a chamber or chambers for deposition of pure metals such as Pt, gold (Au) or conductive metal oxides such as LaNiO3 or SrRuO3 layers. The XUV Piezo Cluster shall have the capability to sputter the typically used Ti, Ta or Cr adhesion layers preceding the pure metal layers. The XUV Piezo Cluster shall include a load-lock chamber for fast sample loading and reaching of the base pressure. The XUV Piezo Cluster shall include a transfer chamber enabling the transfer of substrates between deposition chambers without breaking the vacuum. The XUV Piezo Cluster shall be further expandible to include a pre-treatment chamber for purposes such as degassing or etching before or after the layers are deposited. The full technical specifications can be found in ‘Appendix B: Schedule of Demands and Wishes’. Tenderers can derive no rights from the indicative specification. All amounts are specified excluding VAT.

Deadline

De termijn voor de ontvangst van de offertes was 2025-01-13. De aanbesteding werd gepubliceerd op 2024-11-08.

Wie?

• Universiteit Twente

Wat?

• Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen)

Waar?

• Nederland

Aankoopgeschiedenis

Datum	Document
2024-11-08	Aankondiging van een opdracht

Aankondiging van een opdracht (2024-11-08)
Object
Toepassingsgebied van de aanbesteding
Titel: XUV Piezo Cluster
Referentienummer: EB-OUT 6528
Korte beschrijving:

Korte beschrijving

The XUV Optics Group in MESA+ Institute at University of Twente tends to invest in the XUV Piezo Cluster to carry research on piezoelectric film-based sensors and actuators. The aim is to scale up the piezoelectric film coating capabilities to larger substrate dimensions with more advanced process control systems that enable to explore a broader process window.

The XUV Piezo Cluster will be used for the deposition of pure metals, metallic oxides and piezoelectric layers onto various substrates to be further processed using photolithography and deposition steps in the MESA+ Nanolab facilities. Brief description of the capabilities is outlined below:

The XUV Piezo Cluster shall be capable of processing at least 200 mm diameter substrates.
The XUV Piezo Cluster shall include a chamber for deposition of piezoelectric Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) layer that acts as the active layer for sensor and actuator applications.
The XUV Piezo Cluster shall include a chamber or chambers for deposition of pure metals such as Pt, gold (Au) or conductive metal oxides such as LaNiO3 or SrRuO3 layers. The XUV Piezo Cluster shall have the capability to sputter the typically used Ti, Ta or Cr adhesion layers preceding the pure metal layers.
The XUV Piezo Cluster shall include a load-lock chamber for fast sample loading and reaching of the base pressure.
The XUV Piezo Cluster shall include a transfer chamber enabling the transfer of substrates between deposition chambers without breaking the vacuum.
The XUV Piezo Cluster shall be further expandible to include a pre-treatment chamber for purposes such as degassing or etching before or after the layers are deposited.

The full technical specifications can be found in ‘Appendix B: Schedule of Demands and Wishes’. Tenderers can derive no rights from the indicative specification. All amounts are specified excluding VAT.

Soort contract: Leveringen
Producten/diensten: Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) 📦
Geschatte waarde exclusief BTW: 1 900 000 EUR 💰
Andere beperkingen op de plaats van uitvoering: Overal in het desbetreffende land
Beschrijving
Interne identificatiecode: EB-OUT 6528
Hoofdlocatie of plaats van uitvoering: Zie documentatie
Land: Nederland 🇳🇱
Titel
Identificatienummer van de partij: LOT-0000

Procedure
Soort procedure
Openbare procedure ✅
Rechtsgrondslag: Richtlijn 2014/24/EU
Administratieve informatie
Termijn voor de ontvangst van inschrijvingen of verzoeken tot deelneming: 2025-01-13 11:00:00 📅
Voorwaarden voor de opening van de offertes: 2025-01-14 11:00:00 📅
Talen waarin inschrijvingen of aanvragen tot deelneming kunnen worden ingediend: Engels 🗣️
Voorwaarden voor inschrijving
Openingsdatum: 2025-01-14 11:00:00 📅
Elektronische facturering: Vereist
Er zal gebruik worden gemaakt van elektronische betaling ✅

Juridische, economische, financiële en technische informatie
Economische en financiële draagkracht
Lijst en korte beschrijving van de selectiecriteria: Cover for liability risk: See Descriptive document
Voorwaarden voor deelname
Lijst en korte beschrijving van aandoeningen: Registration in Trade register: See Descriptive document
Technische en professionele bekwaamheid
Lijst en korte beschrijving van de selectiecriteria: Experience Tenderer: See descriptive document
Voorwaarden voor deelname
Uitsluitingsgrond:

Corruptie

Deelname aan een criminele organisatie

Fraude

+ nog 3

Kinderarbeid en andere vormen van mensenhandel

Terroristische misdrijven of strafbare feiten in verband met terroristische activiteiten

Witwassen van geld of financiering van terrorisme

Beschrijving van de uitsluitingsgronden: See UEA

Aanbestedende dienst
Naam en adressen
Naam: Universiteit Twente
Nationaal registratienummer: 50130536
Postadres: Drienerlolaan 5
Postcode: 7522NB
Poststad: Enschede
Land: Nederland 🇳🇱
Contactpunt: Camilio Delfgaauw
E-mail: c.delfgaauw@utwente.nl 📧
Telefoon: +31534891512 📞
URL: https://www.utwente.nl 🌏
Adres van het kopersprofiel: https://s2c.mercell.com/buyer/16033 🌏
Type aanbestedende dienst
Publiekrechtelijke instelling
Hoofdactiviteit
Onderwijs
Communicatie
Documenten URL: https://s2c.mercell.com/today/119146 🌏
Deelname URL: https://s2c.mercell.com/today/119146 🌏
Elektronische indiening: Toegestaan

Aanvullende informatie
Beoordelingsorgaan
Naam: Rechtbank Overijssel
Nationaal registratienummer: 82940525
Poststad: Almelo
Land: Nederland 🇳🇱
E-mail: communicatie.rb-ove@rechtspraak.nl 📧
Telefoon: (+31)0883611042 📞
Informatie over elektronische workflows
Elektronische facturering wordt aanvaard
Bron: OJS 2024/S 219-683630 (2024-11-08)

Nieuwe aankopen in verwante categorieën 🆕

Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) (20 nieuwe aankopen)