he MESA+ Institute for Nanotechnology will invest in a new ion beam etch tool (IBE/RIBE) to reinforce their state-of-the-art etch capabilities. The tool will be used for etching thin films in the platforms: electronics, MEMS, fluidics, optics and 3-D nano-shaping. The tool must be equipped with a RF-ICP plasma source and a SIMS end-point detection to enable an accurate pattern transfer at micro (nano) scale in metals, dielectric materials, and organic materials.
The tool must be capable to demonstrate a large process (etch) window, which is controlled by the tilt angle of the substrate holder, the rotation speed, the beam energy and the gases argon, oxygen, and nitrogen. The tool must be able to etch at low energies (i.e., < 60 eV beam energy) without losing its uniformity. The tool must be capable to run 100 mm and 150 mm wafers.
Deadline
De termijn voor de ontvangst van de offertes was 2022-09-28.
De aanbesteding werd gepubliceerd op 2022-08-10.
Leveranciers
De volgende leveranciers worden genoemd in gunningsbesluiten of andere aanbestedingsdocumenten:
Object Toepassingsgebied van de aanbesteding
Titel: New IBE-RIBE tool MESA+ NanoLab
EB 0ut 5579
Producten/diensten: Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen)📦
Korte beschrijving:
“he MESA+ Institute for Nanotechnology will invest in a new ion beam etch tool (IBE/RIBE) to reinforce their state-of-the-art etch capabilities. The tool...”
Korte beschrijving
he MESA+ Institute for Nanotechnology will invest in a new ion beam etch tool (IBE/RIBE) to reinforce their state-of-the-art etch capabilities. The tool will be used for etching thin films in the platforms: electronics, MEMS, fluidics, optics and 3-D nano-shaping. The tool must be equipped with a RF-ICP plasma source and a SIMS end-point detection to enable an accurate pattern transfer at micro (nano) scale in metals, dielectric materials, and organic materials.
The tool must be capable to demonstrate a large process (etch) window, which is controlled by the tilt angle of the substrate holder, the rotation speed, the beam energy and the gases argon, oxygen, and nitrogen. The tool must be able to etch at low energies (i.e., < 60 eV beam energy) without losing its uniformity. The tool must be capable to run 100 mm and 150 mm wafers.
1️⃣
Aanvullende producten/diensten: Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen)📦
Plaats van uitvoering: Nederland🏙️
Hoofdlocatie of plaats van uitvoering: Enschede
Beschrijving van de aanbesteding:
“The object of this public Invitation to Tender by the Contracting Party is to award the Contract to one (1) Contracted Party. The intended commencement date...”
Beschrijving van de aanbesteding
The object of this public Invitation to Tender by the Contracting Party is to award the Contract to one (1) Contracted Party. The intended commencement date of the Agreement is after successful acceptance test.
Given the nature and estimated scope of the Contract, the Contracting Party follows a European public tendering procedure in accordance with the Public Procurement Act. The public procedure means that the qualification and awarding process take place in a single phase, albeit that various actions are undertaken within this procedure (such as a verification of the non-applicability of the Grounds for Exclusion, compliance with the Eligibility Requirements, a verification if the Tender complies with the requirements and an assessment of the Tenders on the basis of the Award Criteria).
The purpose of this public procurement procedure of Contracting Party is to award the Contract to one supplier, taking effect after successful acceptance tests.
The Award Criterion for this tendering procedure is: the best price/quality ratio
Toon meer Gunningscriteria
De prijs is niet het enige gunningscriterium en alle criteria worden alleen in de aanbestedingsdocumenten vermeld
Toepassingsgebied van de aanbesteding
Geschatte totale waarde exclusief BTW: EUR 1 200 000 💰
Duur
Startdatum: 2022-11-01 📅
Einddatum: 2023-11-01 📅
Juridische, economische, financiële en technische informatie Voorwaarden voor deelname
Lijst en korte beschrijving van aandoeningen: See ESPD. as stated in the procurement documents
Economische en financiële draagkracht
Selectiecriteria zoals vermeld in de aanbestedingsdocumenten
Technische en professionele bekwaamheid
Selectiecriteria zoals vermeld in de aanbestedingsdocumenten
Voorwaarden met betrekking tot het contract
Voorwaarden voor de uitvoering van het contract: As stated in the procurement documents
Procedure Soort procedure
Open procedure
Administratieve informatie
Termijn voor de ontvangst van inschrijvingen of verzoeken tot deelneming: 2022-09-28
12:00 📅
Talen waarin inschrijvingen of aanvragen tot deelneming kunnen worden ingediend: Engels 🗣️
De offerte moet geldig zijn tot: 2023-06-01 📅
Voorwaarden voor de opening van de offertes: 2022-09-28
12:30 📅
Voorwaarden voor de opening van de offertes (plaats): Enschede
Aanvullende informatie Informatie over elektronische workflows
Er zal gebruik worden gemaakt van elektronische bestellingen
Beoordelingsorgaan
Naam: University of Twente
Postadres: Postbus 217
Poststad: Enschede
Postcode: 7500 AE
Land: Nederland 🇳🇱
Telefoon: +31 534896741📞
E-mail: r.h.belt@utwente.nl📧
URL: www.utwente.nl🌏 Voor bemiddelingsprocedures verantwoordelijke instantie
Naam: University of Twente
Postadres: Postbus 217
Poststad: Enschede
Postcode: 7500 AE
Land: Nederland 🇳🇱
Telefoon: +31 53489000📞
E-mail: klachtenmeldpunt-cfm@utwente.nl📧
URL: www.utwente.nl🌏 Herzieningsprocedure
Precieze informatie over de termijn(en) voor herzieningsprocedures: See as stated in the procurement documents
Bron: OJS 2022/S 155-440644 (2022-08-10)
Object Toepassingsgebied van de aanbesteding
Titel: New IBE-RIBE tool MESA+ NanoLab
EB out 5579
Korte beschrijving: levering van een New IBE-RIBE tool voor MESA+ NanoLab UT.
Totale waarde van de opdracht (exclusief BTW): EUR 1 100 000 💰
Beschrijving
Beschrijving van de aanbesteding: levering van een New IBE-RIBE tool bestemd voor MESA+ NanoLab UT.
Gunningscriteria
Prijs
Beschrijving
Aanvullende informatie:
“Op basis van pakket van eisen wordt de opdracht gegund aan de inschrijver met de laagste”
Procedure Administratieve informatie
Eerdere publicatie betreffende deze procedure: 2022/S 155-440644
Gunning van het contract
1️⃣
Contractnummer: EB out 5579
Titel: New IBE-RIBE tool MESA+ NanoLab
Datum van sluiting van het contract: 2022-11-22 📅
Informatie over aanbestedingen
Aantal ontvangen offertes: 2
Aantal inschrijvingen van KMO's: 0
Aantal inschrijvingen van inschrijvers uit andere EU-lidstaten: 2
Naam en adres van de contractant
Naam: Oxford Instruments GmbH
Nationaal registratienummer: hrb21599
Postadres: Borsigstr. 15A
Poststad: Wiesbaden
Postcode: 65205
Land: Duitsland 🇩🇪
Regio: Deutschland 🏙️
De aannemer is een KMO
Informatie over de waarde van de opdracht/het perceel (exclusief BTW)
Totale waarde van het contract/perceel: EUR 1 100 000 💰