Field Emissie Gun Scanning Electronen Microscoop (FEG-SEM) t.b.v. NFI | IUC-RIVM

Datum	Document
2022-07-14	Aankondiging van een opdracht
2022-08-19	Aanvullende inlichtingen
2023-02-07	Award Aankondiging

Aankondiging van een opdracht (2022-07-14)
Object
Toepassingsgebied van de aanbesteding
Titel: Elektronenmicroscopen
Referentienummer: RIVM/RH/204146
Korte beschrijving:

Binnen het Platform Interceptie Decryptie en Signaalanalyse (PIDS) project Invasive Memory Access Methods (IMAM) worden tools en bewerkingstrajecten ontwikkeld om op forensische wijze gegevens uit geheugens van geïntegreerde schakelingen (IC's) te verkrijgen, die niet of niet meer via de normale aansluitingen te bereiken zijn. Voor de analyse van deze geïntegreerde schakelingen is het nodig deze af te lagen en van elke laag foto's te nemen met hoge resolutie. De behoefte is gekomen om hiervoor een Field Emissie Gun Scanning Electronen Microscoop (FEG-SEM) aan te schaffen. Het is van belang dat er een externe interface is bij de FEG-SEM die de machine aan kan sturen.

Aankondigingsmetadata
Originele taal: Nederlands 🗣️
Documenttype: Aankondiging van een opdracht
Aard van de opdracht: Leveringen
Regelgeving: Europese Unie, met GPA-deelname
Gemeenschappelijke woordenlijst overheidsopdrachten (CPV)
Code: Elektronenmicroscopen 📦
Aanvullende CPV-code: Elektronenmicroscopen 📦
Plaats van uitvoering
NUTS-regio: Nederland 🏙️

Procedure
Type procedure: Openbare procedure
Type bod: Inschrijving voor alle percelen
Gunningscriteria
Uit economisch oogpunt voordeligste inschrijving

Aanbestedende dienst
Identiteit
Land: Nederland 🇳🇱
Type aanbestedende dienst: Ministerie of elke andere nationale of federale instantie
Naam aanbestedende dienst: Iuc-rivm
Postadres: Postbus 1
Postcode: 3720 BA
Poststad: Bilthoven
Contact
Internetadres: http://www.rivm.nl 🌏
E-mail: rik.haak@rivm.nl 📧
Telefoon: +31 620078756 📞
URL van de documenten: https://platform.negometrix.com/PublishedTenders.aspx?tenderid=204146 🌏

Referentie
Datums
Verzenddatum: 2022-07-14 📅
Indieningstermijn: 2022-09-16 📅
Publicatiedatum: 2022-07-19 📅
Startdatum: 2022-11-01 📅
Einddatum: 2027-11-01 📅
Identificatoren
Aankondigingsnummer: 2022/S 137-391269
PB-S nummer: 137

Object
Toepassingsgebied van de aanbesteding
Korte beschrijving:

Binnen het Platform Interceptie Decryptie en Signaalanalyse (PIDS) project Invasive Memory Access Methods (IMAM) worden tools en bewerkingstrajecten ontwikkeld om op forensische wijze gegevens uit geheugens van geïntegreerde schakelingen (IC's) te verkrijgen, die niet of niet meer via de normale aansluitingen te bereiken zijn. Hierbij valt bijvoorbeeld te denken aan contact- en plaatsbepalingsgegevens uit het geheugen van een deels verbrande mobiele telefoon. Hiertoe worden een groot aantal geavanceerde apparaten gebruikt om de IC's te bestuderen en te bewerken. Het gaat hierbij vaak om bewerkingen op micro- en nanoschaal.

Voor de analyse van deze geïntegreerde schakelingen is het nodig deze af te lagen en van elke laag foto's te nemen met hoge resolutie. Doordat de huidige generatie geïntegreerde schakelingen steeds groter wordt en steeds kleinere interne afmetingen heeft, is de behoefte gekomen hiervoor een Field Emissie Gun Scanning Electronen Microscoop (FEG-SEM) aan te schaffen die deze foto's met de nodige nauwkeurigheid kan maken en wel volautomatisch over de hele chip. Dit vraagt een hoog oplossend vermogen van enkele nanometers voor de meest moderne chips en de mogelijkheid een grote hoeveelheid beelden te maken in een raster waaruit later het beeld van de complete laag kan worden samengesteld. Veel functies dienen hierbij automatiseerbaar te zijn. Dit is niet mogelijk met de huidige Dual-Beam SEM bij het NFI, omdat het opnemen van deze beelden te veel tijd kost (3-7 dagen, 24 uur), de nauwkeurigheid niet voldoende is en er geen externe interface voorhanden is.

De momenteel gewenste functionaliteit is alleen met een FEG-SEM te realiseren, omdat de Field Emissie Gun (FEG) bron zowel het benodigde oplossend vermogen als ook de benodigde standtijd van de bron levert. Daarnaast wordt het met de nieuwe FEG-SEM mogelijk snel processtappen te karakteriseren en te monitoren en de resultaten te koppelen aan waarnemingen met de LEXT confocale microscoop. Ook kunnen delen van chips snel worden bekeken. Tenslotte wordt de FEG-SEM als inspectietool back-up wanneer de Dual-Beam SEM in langdurig gebruik, defect of in service is en uiteindelijk vervangen wordt.

Daarnaast is het van belang dat de machine een zo hoog mogelijke resolutie heeft, in het bijzonder voor (deels afgelaagde) geïntegreerde schakelingen die ook nog eens niet geleidend en niet gecoat kunnen zijn. Verder wordt er software gebouwd die het mogelijk moet maken extern de machine aan te sturen, voor het maken van zeer grote mozaïekfoto's. Het is van belang dat er een externe interface is bij de FEG-SEM die de machine aan kan sturen.

Het doel van deze Europese aanbesteding is het sluiten van één Overeenkomst tussen NFI en één Opdrachtnemer voor aanschaf en onderhoud van de gewenste FEG-SEM

Beschrijving van de verlengingen:

Het onderhoudscontract zal na de eerste vier jaar, exclusief basisgarantieperiode van 12 maanden, voor onbepaalde tijd voor een aantal jaren worden verlengd, zolang het instrument in gebruik blijft.

Procedure
Rechtsgrondslag: 32014L0024
Tijdstip van ontvangst van inschrijvingen: 17:00
Talen waarin inschrijvingen of aanvragen tot deelneming kunnen worden ingediend: Nederlands 🗣️
Datum opening inschrijvingen: 2022-09-19 📅
Tijdstip van opening inschrijvingen: 08:00

Aanbestedende dienst
Identiteit
Nationaal registratienummer: 30276683
Contact
Contactpunt: Rik Haak
Adres van het kopersprofiel: https://platform.negometrix.com/PublishedTenders.aspx?tenderid=204146 🌏
Documenten URL: https://platform.negometrix.com/PublishedTenders.aspx?tenderid=204146 🌏

Aanvullende informatie
Beoordelingsorgaan
Naam: Rechtbank Den Haag
Poststad: Den Haag
Land: Nederland 🇳🇱
Bron: OJS 2022/S 137-391269 (2022-07-14)

Aanvullende inlichtingen (2022-08-19)
Object
Toepassingsgebied van de aanbesteding
Korte beschrijving:

LET OP !! Aanbestedende dienst heeft, naar aanleiding van de eerste Nota van Inlichtingen, de aanbesteding gerectificeerd, waardoor de wettelijke minimumtermijnen opnieuw in acht worden genomen en daartoe inschrijvers opnieuw de kans hebben zich aan te melden/in te schrijven aan/op deze aanbesteding. Binnen het Platform Interceptie Decryptie en Signaalanalyse (PIDS) project Invasive Memory Access Methods (IMAM) worden tools en bewerkingstrajecten ontwikkeld om op forensische wijze gegevens uit geheugens van geïntegreerde schakelingen (IC's) te verkrijgen, die niet of niet meer via de normale aansluitingen te bereiken zijn. Voor de analyse van deze geïntegreerde schakelingen is het nodig deze af te lagen en van elke laag foto's te nemen met hoge resolutie. De behoefte is gekomen om hiervoor een Field Emissie Gun Scanning Electronen Microscoop (FEG-SEM) aan te schaffen. Het is van belang dat er een externe interface is bij de FEG-SEM die de machine aan kan sturen.

Aankondigingsmetadata
Documenttype: Aanvullende inlichtingen

Referentie
Datums
Verzenddatum: 2022-08-19 📅
Indieningstermijn: 2022-10-06 📅
Publicatiedatum: 2022-08-24 📅
Identificatoren
Aankondigingsnummer: 2022/S 162-461326
Verwijst naar aankondiging: 2022/S 137-391269
PB-S nummer: 162

Object
Toepassingsgebied van de aanbesteding
Korte beschrijving:

LET OP !! Aanbestedende dienst heeft, naar aanleiding van de eerste Nota van Inlichtingen, de aanbesteding gerectificeerd, waardoor de wettelijke minimumtermijnen opnieuw in acht worden genomen en daartoe inschrijvers opnieuw de kans hebben zich aan te melden/in te schrijven aan/op deze aanbesteding.

Bron: OJS 2022/S 162-461326 (2022-08-19)

Award Aankondiging (2023-02-07)
Object
Toepassingsgebied van de aanbesteding
Totale waarde van de aanbesteding: 273787.50 EUR 💰
Aankondigingsmetadata
Documenttype: Award Aankondiging

Procedure
Type bod: Niet van toepassing

Referentie
Datums
Verzenddatum: 2023-02-07 📅
Publicatiedatum: 2023-02-10 📅
Identificatoren
Aankondigingsnummer: 2023/S 030-088310
PB-S nummer: 30

Procedure
Gunningscriteria
Kwaliteitscriterium (naam): Laagvacuüm
Kwaliteitscriterium (weging): 20
Kwaliteitscriterium (naam): Trough lens detector
Hoog oplossend vermogen
Probestroom
Kwaliteitscriterium (weging): 5
Kwaliteitscriterium (naam): Opbouw BSE detector
Aantal mosaïkbeelden
Kwaliteitscriterium (weging): 10
Kwaliteitscriterium (naam): Scripting
Kwaliteitscriterium (weging): 15
Kwaliteitscriterium (naam): Omgeving en reliability
Extra's
Kostencriterium (naam): Prijs aanschaf en onderhoud
Kostencriterium (weging): 30

Gunning van het contract
Datum van sluiting van de overeenkomst: 2022-12-05 📅
Naam: JEOL (Europe) B.V.
Poststad: Nieuw-Vennep
Land: Nederland 🇳🇱
Totale waarde van de aanbesteding: 273787.50 EUR 💰
Informatie over aanbestedingen
Aantal ontvangen offertes: 3
Bron: OJS 2023/S 030-088310 (2023-02-07)