ICP PECVD, ICP PECVD TEOS and ICP Chlorine Etcher

Technische Universiteit Delft

The subject of the contract is the delivery of one (1) ICP Chlorine etcher and one (1) ICP PECVD to expand the current facilities of the Kavli Nanolab (KN) and one (1) ICP PECVD TEOS to expand the current facilities of the Else Kooi Laboratorium (EKL). The subject of this tender includes:
โ€” specification,
โ€” requirements and offered preferences,
โ€” manufacturing,
โ€” factory acceptance test,
โ€” freight and shipping (DDP incoterms 2010),
โ€” start up on site, excluding hook up,
โ€” site acceptance test,
โ€” manual and documentations,
โ€” training of personnel.

Deadline

De termijn voor de ontvangst van de offertes was 2021-01-06. De aanbesteding werd gepubliceerd op 2020-11-16.

Leveranciers

De volgende leveranciers worden genoemd in gunningsbesluiten of andere aanbestedingsdocumenten:

Wie? Wat? Waar?
Aankoopgeschiedenis
Datum Document
2020-11-16 Aankondiging van een opdracht
2021-03-23 Award Aankondiging
Aankondiging van een opdracht (2020-11-16)
Object
Toepassingsgebied van de aanbesteding
Titel: Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen)
Korte beschrijving:
โ€œThe subject of the contract is the delivery of one (1) ICP Chlorine etcher and one (1) ICP PECVD to expand the current facilities of the Kavli Nanolab (KN)...โ€    Toon meer
Aankondigingsmetadata
Originele taal: Engels ๐Ÿ—ฃ๏ธ
Documenttype: Aankondiging van een opdracht
Aard van de opdracht: Leveringen
Regelgeving: Europese Unie, met GPA-deelname
Gemeenschappelijke woordenlijst overheidsopdrachten (CPV)
Code: Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) ๐Ÿ“ฆ
Plaats van uitvoering
NUTS-regio: Nederland ๐Ÿ™๏ธ

Procedure
Type procedure: Openbare procedure
Type bod: Inschrijving voor alle percelen
Gunningscriteria
Uit economisch oogpunt voordeligste inschrijving

Aanbestedende dienst
Identiteit
Land: Nederland ๐Ÿ‡ณ๐Ÿ‡ฑ
Type aanbestedende dienst: Publiekrechtelijke instelling
Naam aanbestedende dienst: Technische Universiteit Delft
Postadres: Stevinweg 1
Postcode: 2628 CN
Poststad: Delft
Contact
Internetadres: http://www.tudelft.nl ๐ŸŒ
E-mail: t.b.willems@tudelft.nl ๐Ÿ“ง
Telefoon: +31 52788577 ๐Ÿ“ž
URL van de documenten: https://platform.negometrix.com/PublishedTenders.aspx?tenderid=164446 ๐ŸŒ

Referentie
Datums
Verzenddatum: 2020-11-16 ๐Ÿ“…
Indieningstermijn: 2021-01-06 ๐Ÿ“…
Publicatiedatum: 2020-11-20 ๐Ÿ“…
Identificatoren
Aankondigingsnummer: 2020/S 227-556325
PB-S nummer: 227

Object
Toepassingsgebied van de aanbesteding
Korte beschrijving:
โ€œThe subject of the contract is the delivery of one (1) ICP Chlorine etcher and one (1) ICP PECVD to expand the current facilities of the Kavli Nanolab (KN)...โ€    Toon meer

โ€œโ€” specification,โ€
Toon meer (8)
โ€œโ€” requirements and offered preferences,โ€

โ€œโ€” manufacturing,โ€

โ€œโ€” factory acceptance test,โ€

โ€œโ€” freight and shipping (DDP incoterms 2010),โ€

โ€œโ€” start up on site, excluding hook up,โ€

โ€œโ€” site acceptance test,โ€

โ€œโ€” manual and documentations,โ€

โ€œโ€” training of personnel.โ€
Geschatte totale waarde: 1 000 000 EUR ๐Ÿ’ฐ
Korte beschrijving:
โ€œThe subject of the contract is the delivery of one (1) ICP Chlorine etcher and one (1) ICP PECVD to expand the current facilities of the Kavli Nanolab (KN)...โ€    Toon meer
Geschatte waarde exclusief BTW: 1 000 000 EUR ๐Ÿ’ฐ
Duur: 24 maanden

Procedure
Rechtsgrondslag: 32014L0024
Tijdstip van ontvangst van inschrijvingen: 10:00
Talen waarin inschrijvingen of aanvragen tot deelneming kunnen worden ingediend: Engels ๐Ÿ—ฃ๏ธ
Geldigheidsduur van de inschrijving: 4 maanden
Datum opening inschrijvingen: 2021-01-06 ๐Ÿ“…
Tijdstip van opening inschrijvingen: 10:00
Plaats: Delft

Aanbestedende dienst
Identiteit
Nationaal registratienummer: 27364265 0001
Contact
Contactpunt: Bas Willems
Adres van het kopersprofiel: https://platform.negometrix.com/PublishedTenders.aspx?tenderid=164446 ๐ŸŒ
Documenten URL: https://platform.negometrix.com/PublishedTenders.aspx?tenderid=164446 ๐ŸŒ

Aanvullende informatie
Beoordelingsorgaan
Naam: Technische Universiteit Delft
Poststad: Delft
Land: Nederland ๐Ÿ‡ณ๐Ÿ‡ฑ
Bron: OJS 2020/S 227-556325 (2020-11-16)
Award Aankondiging (2021-03-23)
Object
Toepassingsgebied van de aanbesteding
Totale waarde van de aanbesteding: 1 350 000 EUR ๐Ÿ’ฐ
Aankondigingsmetadata
Documenttype: Award Aankondiging

Procedure
Type bod: Niet van toepassing

Aanbestedende dienst
Contact
E-mail: procurement@tudelft.nl ๐Ÿ“ง

Referentie
Datums
Verzenddatum: 2021-03-23 ๐Ÿ“…
Publicatiedatum: 2021-03-26 ๐Ÿ“…
Identificatoren
Aankondigingsnummer: 2021/S 060-150009
Verwijst naar aankondiging: 2020/S 227-556325
PB-S nummer: 60

Procedure
Gunningscriteria
Kwaliteitscriterium (naam): Availability of process assistance and process library
Kwaliteitscriterium (weging): 20
Kwaliteitscriterium (naam): Software user-friendliness
Hardware user-friendliness
Kwaliteitscriterium (weging): 15
Kwaliteitscriterium (naam): Safety
Kostencriterium (naam): Total prices ICP PECVD, ICP PECVD TEOS and ICP Chlorine Etcher
Kostencriterium (weging): 30

Gunning van het contract
Datum van sluiting van de overeenkomst: 2021-02-08 ๐Ÿ“…
Naam: Oxford Instruments GmbH
Poststad: Wiesbaden
Land: Duitsland ๐Ÿ‡ฉ๐Ÿ‡ช
Totale waarde van de aanbesteding: 1 350 000 EUR ๐Ÿ’ฐ
Informatie over aanbestedingen
Aantal ontvangen offertes: 3
Bron: OJS 2021/S 060-150009 (2021-03-23)